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 等 离 子 体 不 带 电 ， 不 对 精 密 电 路 造 成 损 害 ， 采 用 磁 约 束 方 式 ， 可 兼 容 微 波 结 和 磁 路 。 
 了 解 详 情 更 多 产 品 R P S 远 程 等 离 子 体 源 真 空 设 备 工 艺 腔 体 清 洁 S P R 0 8 S P R 0 8 是 一 款 基 于 电 感 耦 合 等 离 子 体 技 术 的 自 成 一 体 的 原 子 发 生 器 ， 它 的 功 能 是 用 于 半 导 体 设 备 工 艺 腔 体 原 子 级 别 的 清 洁 ， 使 用 工 艺 气 体 三 氟 化 氮 （ N F 3 ） / O 2 ， 在 交 变 电 场 和 磁 场 作 用 下 ， 原 材 料 气 体 会 被 解 离 ， 从 而 释 放 出 自 由 基 ， 活 性 离 子 进 入 工 艺 室 与 工 艺 室 上 沉 积 的 污 染 材 料 （ S I O / S I N ） 或 者 残 余 气 体 （ H 2 O 、 O 2 、 H 2 、 N 2 ） 等 物 质 产 生 化 学 反 应 ， 聚 合 为 高 活 性 气 态 分 子 经 过 真 空 泵 组 抽 出 处 理 腔 室 ， 提 高 处 理 腔 室 内 部 洁 净 度 。 
 了 解 详 情 更 多 产 品 S D C 2 0 0 S 科 研 型 接 触 角 测 量 仪 功 能 齐 全 、 性 价 比 非 常 高 的 科 研 系 列 接 触 角 测 量 仪 了 解 详 情 更 多 产 品 干 式 超 声 波 清 洗 机 快 速 有 效 清 除 产 品 表 面 浮 沉 颗 粒 ， 3 u m 尘 粒 9 7 % 的 清 除 率 ， 6 u m 尘 粒 9 8 % 的 清 除 率 了 解 详 情 更 多 产 品 案 例 应 用 深 入 了 解 市 场 需 求 ， 提 供 完 善 的 解 决 方 案 行 业 解 决 方 案 科 学 研 究 工 业 应 用 I n d u s t r i a l A p p l i c a t i o n 3 C F P D 半 导 体 汽 车 新 能 源 S M T L E D 塑 胶 行 业 解 决 方 案 i n d u s t r y s o l u t i o n s 科 学 研 究 S c i e n t i f i c R e s e a r c h 手 机 制 造 玻 璃 制 造 表 面 处 理 材 料 研 究 化 学 化 工 科 学 研 究 S c i e n t i f i c R e s e a r c h 关 于 晟 鼎 晟 鼎 | P L A S M A 处 理 及 性 能 检 测 方 案 致 力 于 为 全 球 用 户 提 供 专 业 的 表 面 处 理 与 检 测 整 体 解 决 方 案 价 值 观 : 以 客 户 为 中 心 ， 专 业 、 高 效 、 信 赖 、 共 赢 2 0 1 2 年 创 立 于 1 7 9 + 项 专 利 技 术 9 3 % 手 机 行 业 市 场 占 有 率 4 0 + % 研 发 人 员 公 司 简 介 致 力 于 为 全 球 用 户 提 供 专 业 的 表 面 处 理 与 检 测 整 体 解 决 方 案 发 展 历 程 汇 智 聚 力 ， 科 创 未 来 核 心 团 队 敢 拼 敢 想 的 创 新 精 神 和 极 其 专 注 的 务 实 作 风 荣 誉 资 质 坚 持 自 主 研 发 ， 助 力 “ 中 国 智 造 ” ! 最 新 资 讯 聚 焦 晟 鼎 精 密 ， 洞 悉 最 新 资 讯 ， 掌 握 企 业 动 态 0 7 1 7 2 0 2 5 P L A S M A 等 离 子 表 面 处 理 在 扇 出 型 封 装 中 的 应 用 等 离 子 表 面 处 理 技 术 利 用 高 活 性 粒 子 与 物 体 表 面 产 生 化 学 反 应 或 物 理 轰 击 ， 有 效 打 破 其 惰 性 C H 键 等 弱 化 学 键 ， 在 其 表 面 引 入 含 氧 官 能 团 （ 如 O H , C O O H ） ， 提 升 表 面 能 ， 为 焊 料 铺 展 创 造 理 想 基 底 。 
 等 离 子 表 面 处 理 技 术 具 有 处 理 温 度 低 、 可 控 性 强 、 兼 容 性 高 、 处 理 均 匀 等 优 势 ， 能 够 在 不 损 伤 材 料 结 构 的 前 提 下 ， 改 善 表 面 润 湿 性 ， 在 先 进 封 装 领 域 发 挥 着 重 要 作 用 。 
 0 6 2 5 P l a s m a 真 空 等 离 子 清 洗 在 半 导 体 封 装 行 业 的 应 用 在 封 装 行 业 中 ， 等 离 子 清 洗 是 一 种 先 进 的 清 洗 技 术 ， 它 可 以 通 过 改 性 表 面 ， 增 强 粘 合 、 去 除 污 染 物 ， 增 强 表 面 附 着 力 、 增 强 产 品 的 质 量 、 提 高 良 率 、 降 低 成 本 和 提 高 生 产 效 率 等 方 面 ， 为 封 装 过 程 提 供 更 好 的 环 境 和 条 件 。 
 0 6 1 2 等 离 子 干 法 去 胶 在 先 进 封 装 中 的 核 心 工 艺 应 用 晟 鼎 等 离 子 去 胶 机 广 泛 应 用 于 半 导 体 制 造 、 M E M S 器 件 、 光 电 子 元 件 、 先 进 封 装 等 高 科 技 领 域 的 表 面 去 胶 、 活 化 及 表 面 处 理 等 关 键 工 艺 。 
 0 6 1 0 等 离 子 去 胶 机 在 半 导 体 先 进 封 装 的 应 用 传 统 湿 法 去 胶 在 面 对 复 杂 三 维 结 构 、 敏 感 材 料 和 严 苛 尺 度 时 局 限 性 凸 显 ， 而 等 离 子 干 法 去 胶 技 术 利 用 高 能 等 离 子 体 去 除 光 刻 胶 ， 去 胶 彻 底 且 速 度 快 ， 无 需 引 入 化 学 物 质 ， 避 免 造 成 材 料 损 伤 ， 已 逐 渐 成 为 先 进 封 装 工 艺 链 中 不 可 替 代 的 核 心 制 程 。 
 0 6 0 5 等 离 子 清 洗 机 的 原 理 是 什 么 ？ 什 么 是 等 离 子 清 洗 机 ？ 等 离 子 清 洗 机 ( p l a s m a c l e a n e r ) ， 利 用 等 离 子 体 来 达 到 常 规 清 洗 方 法 无 法 达 到 的 效 果 。 
 等 离 子 体 是 物 质 的 一 种 状 态 ， 也 叫 做 物 质 的 第 四 态 ， 并 不 属 于 常 见 的 固 液 气 三 态 。 
 对 气 体 施 加 足 够 的 能 量 使 之 离 化 便 成 为 等 离 子 状 态 。 
 等 离 子 体 的 “ 活 性 ” 组 分 包 括 ： 离 子 、 电 子 、 自 由 基 、 光 子 以 及 其 他 中 性 粒 子 组 成 。 
 等 离 子 清 洗 机 就 是 通 过 利 用 这 些 活 性 组 分 的 性 质 来 处 理 样 品 表 面 ， 从 而 实 现 清 洁 、 改 性 、 刻 蚀 、 涂 覆 等 目 的 。 
 0 5 2 7 R T P 快 速 退 火 炉 工 艺 ： 提 升 M E M S 器 件 高 性 能 化 的 关 键 M E M S 器 件 的 性 能 高 度 依 赖 其 材 料 体 系 的 合 理 选 择 与 工 艺 处 理 。 
 以 核 心 结 构 材 料 为 例 ， 硅 基 材 料 （ 单 晶 硅 、 多 晶 硅 ） 提 供 机 械 支 撑 与 可 动 结 构 ， 需 通 过 退 火 优 化 晶 格 完 整 性 及 应 力 分 布 。 
 产 品 中 心 快 速 退 火 炉 大 气 等 离 子 清 洗 机 真 空 等 离 子 清 洗 机 宽 幅 等 离 子 清 洗 机 微 波 等 离 子 清 洗 机 远 程 等 离 子 源 R P S 接 触 角 测 量 仪 U S C 干 式 超 声 波 除 尘 案 例 应 用 行 业 解 决 方 案 科 学 研 究 服 务 与 支 持 技 术 服 务 软 件 介 绍 视 频 中 心 应 用 报 告 资 讯 中 心 公 司 资 讯 技 术 资 讯 公 司 介 绍 公 司 简 介 合 作 伙 伴 人 才 招 聘 联 系 我 们 扫 一 扫 关 注 免 费 咨 询 热 线 4 0 0 9 6 0 0 6 6 2 1 8 0 2 8 2 8 2 1 7 0 法 律 声 明 网 站 地 图 服 务 条 款 隐 私 政 策 C o p y r i g h t © 2 0 2 2 东 莞 市 晟 鼎 精 密 仪 器 有 限 公 司 粤 I C P 备 1 3 0 1 7 1 7 4 号 4 友 情 链 接 晟 鼎 精 密 达 因 特 站 点 地 图 等 离 子 清 洗 机 接 触 角 测 量 仪 I E P E 加 速 度 传 感 器 美 国 空 运 T O P

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